也就是65%。”
“这个良品率太低了,我们得卖什么样的价格给客户?客户最终又接受不接受我们的价格?所以说还不如买最新的DUV光刻机经过一次曝光。”
陈平江笑着点头,“我就是随口说说。假如先用一个掩膜板,在晶圆上刻出一个较粗糙的图案,然后在图案上覆盖一层如氧化硅,再用另一个掩膜板,在硬质材料上刻出一个较细致的图案。最后去掉硬质材料和多余的部分,只留下最终想要的图案。这相当于用两个胶片分别放大和缩小一个图像,再将它们重合在一起。”
“当然了,我们就是瞎聊,我也不懂,二老不要笑话我才好。”
谁知道陈平江刚刚说完,张汝京和梁孟松嘴巴张得老大,一副看怪物的模样看着陈平江。
“这是别人和你说的还是你想到的?”
陈平江假模假样的摆摆手:“我不说了不说了,哈哈,都说我不懂了。”
下一秒,梁老直接抓住了陈平江的胳膊追问:“你说的方案极有可能实现,即便不如用更好的DUV来生产,但也绝对是能够达到目标的方案。”
陈平江摆出一副讶异的模样:“是吗?我真的不知道,就是随便说说的,以前看过相关方面的书籍,然后里幻想过。”
张汝京也惊叹:“这样的话大概能解决一部分良率的问题,实在不行我们可以再进行一次类似操作。”
“绝对性,这等于就曝光两次,但是我们必须研发一套专用的设备。”
张汝京和梁孟松对视了一眼,当看到了华芯国际弯道超车的希望。
两人眼中不约而同迸发出非一般的神采。
真是天才般的构想。
两人甚至连接下来的奠基仪式都没什么心思参加了,恨不得去复旦大学的实验室验证下。
梁孟松看向张汝京:“老张,我们要提前建立个实验室,等不了工厂落成。争取在工厂投产前就把相关技术研发完毕吗,并且申请专利。”
张汝京点点头:“我赞同。但这其实等于一条捷径,我们还是不要疏忽了正常的研发。”
“那当然。但你不能否认是个好办法,绕开了诸多的专利限制,生产出同样的产品。而且,在后面规格的先进制程一样可以采用。等到我们能够和台积电走到同一起跑线后,我们完全可以集中精力研发14纳米乃至7纳米的芯片。”
两人兴奋的搓搓手,“平江,你不进行芯片的研发真是可惜了,否则芯片界绝对多出
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