的预估,他们估计要更晚时间才能搞出来。”
“按照目前收集的一些情报来推算他们的工艺节点研发,短期内我们在七纳米工艺上的主要竞争对手,还是台积电;英特尔的十纳米和四星的七纳米,会比我们晚不少!”
“在等效七纳米节点的竞争中,我们将会维持领先优势!”
丁成军对等效七纳米工艺的时间表,表现出来了极大的自信,这是基于梁松教授为核心的工艺研发团队来带的自信。
“我们已经完成了四重曝光的基本理论以及工艺流程,就等着用这一批光刻机进行下一步阶段的各项测试工作了。”
“等第一台NXT1980光刻机到货后,我们就会使用这台光刻机进行前期的技术测试,验证工作。”
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丁成军此时,又指着第二十五厂的另外一个庞大厂房道:“这是我们第二十五厂的第二产线,基于扶持国产设备的缘故,我们的第二产线上将会尽可能采用国产设备,哪怕为此付出一些生产成本的上涨!”
“第二产线上,核心设备包括海湾科技正在研发的HDUV-600型光刻机,此外还包括辅助使用的HDUV-500型号光刻机以及HKRF-34光刻机等,同时也包括后道光刻机,蚀刻机以及离子注入机等核心设备,只要海湾科技有的,技术指标能够达到要求的,我们都会使用!”
“该产线的进度表也和第一产线类似,虽然核心的HDUV-600光刻机到货会晚一些,不过问题不大,应该也能够在后年的第二季度完成量产化。”
“只不过该产线的生产效率要低一些,成本也会更高一些!”
“生产效率上,还需要海湾科技继续努力了!”
徐申学一边听着,一边看着手中的技术报告。
两条等效七纳米工艺的产线,一条是清一色进口,而另外一条则是国产和进口设备混搭。
其他的都还好,但是在光刻机领域还是可以看到明显的差距。
这个时候,跟着徐申学一起过来考察的海湾科技的CEO王道林道:“我们的HDUV-600型光刻机和ASML的NXT1980光刻机在核心的三大硬性指标上都是一样的。”
“分辨率都是38纳米,数值孔径一点三五,套刻精度都是二点五纳米。”
“这三大核心指标也是做等效七纳米工艺的硬性指标,少一个都不行。”
“不过除了这三个核心指标外,还有
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