顺带一提,哪怕是现在智云集团正在秘密研发,即将明年发布商用型号的超导量子计算机,它内部的核心零部件‘超导量子芯片’也是用光刻机生产的,而且对工艺要求很高,这需要高端光刻机。
倒是国内另外一些机构正在研发的光子量子计算机,虽然也需要光刻机来生产芯片,但是对光刻机的性能要求不算高。
而现在,随着这台第三代试验机的诞生,困扰智云集团,乃至困扰华夏电子工业的最后一道枷锁,就被彻底打破了。
所以现在徐申学最关心的问题就是:“这台原型机看起来已经相当成熟了,什么时候可以量产商用?”
海湾科技的CEO王道林道:“我们设计这台原型机的时候,就是奔着量产型号去的,从技术角度来说,我们已经打通了所有的技术环节,随时可以生产更多的HEUV-300A型的光刻机,但是它毕竟只是一台原型机,纵然理论可行,但是实际长时间使用会暴露什么问题,这依旧不明确,我们依旧需要对它进行一定时间的各种测试,找出来潜在的诸多问题。”
”但是下个月开始,我们可以为智云微电子开始提供少量的实验机型,用来进行前期的测试工作!”
“正式量产型号的话,还需要看后续的测试工作是否顺利,需要多长时间,而这方面还需要智云微电子这边进行配合!”
这个时候,徐申学看向了一旁跟着来视察的智云微电子的CEO丁成军:“你们这边还需要多久才能搞定这些测试工作?”
丁成军斟酌着了会后道:“我们订购EUV光刻机的话,必然是用在等效七纳米工艺以及未来的等效五纳米工艺之上的,目前我们的七纳米工艺的技术是建立在DUV浸润式光刻机之上的,而这一套工艺和EUV光刻机的工艺技术差别会很大!”
“之前我们虽然也获得了一些国外EUV光刻机的秘密资料,也尝试进行了理论上的工艺开发准备工作,但是依旧很不完善!”
“当然,单纯光刻机测试工作我们有信心在一年内完成,EUV光刻机的七纳米工艺有望在两年左右搞定!”
徐申学心中盘算了一番,这意味着明年冬天左右EUV光刻机的量产型号,就能批量生产交付给智云微电子,等到后年下半年话应该就能完成EUV光刻机等效七纳米工艺的技术认证,大后年初开始大规模投产。
进而取代现在死贵又不好用的DUV浸润式光刻机的等效七纳米工艺。
这个时间表还可以接
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